Dragonfly®G5 宏观检测系统——专为您的工艺制程而打造。
无论您的工艺制程有何需求，Dragonfly G5 宏观检测系统皆可满足。它让您重掌控制权，并以更低的总拥有成本带来您所需的性能——助您获得真正重要的结果，而无需妥协。
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了解为什么越来越多的客户选择Dragonfly®G5检测系统
性能 |
灵敏度 |
解决方案开发周期 |
准确性 |
| 专为应对当前性能挑战而设计，并可伴随您的技术路线图持续升级 | 可检测最小至150nm的缺陷，并借助Clearfind®技术检测有机缺陷。 | 利用先进的载台技术，TrueADC®以及基于CAD的菜单创建方式缩短总周期时间。 | 优化的载台设计，兼具更高灵敏度和抗振性能，提供最高的缺陷判别可靠性。 |
可靠性 |
适用性 |
灵活性 |
持有成本降低 |
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利用高信噪比（SNR）的数据以及先进的基于 AI 的缺陷分类方式，有效滤除干扰缺陷，为您提供高可靠性的检测结果 |
可选配 7 种物镜和 4 种测量传感器。
通过多模态照明（包括亚表面检测）适配多样化的应用需求 |
设计之初即考虑多种衬底类型的兼容性，提供跨多种应用的灵活性和能力 |
得益于高速的检测和快速的物料传送，设备持有成本降低。 |
掌控: 了解更多，节省更多
Dragonfly G5 系统以更低的成本时限您所需的结果。它是一个为契合您的工艺制程而打造的平台。让我们聊聊它能为您的良率、产能和最终盈利带来什么。
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